第297章 走不了捷径:走捷径(第2/3页)

赌错了,就是万劫不复。

她点点头:“先打一枪试试看。”

郑老先生没有再劝她三思而后行,而是放下了手上的资料,分析她要面临的问题:“那你这就是两步走。”

他在桌上放了两片蚕豆壳,然后指着左边的蚕豆格示意:“首先是单纯的193nm的机器,要有稳定的193nm ArF准分子激光器,来解决了激光功率低、寿命短的问题。”

他又在左边放下了一片更小的蚕豆壳。

“你还得有高纯度的熔融石英透镜,要保证折射率在193nm波段的稳定性,来确保成像精度。光刻胶也得更新换代,灵敏度要提升,才能满足193nm曝光需求。”

他伸手点了点左边的三片蚕豆壳,“等到这一代的机器做出来以后——”

他将手转移到了右边,“后续才是193nm的浸润机。”

黄副市长听的真着急,因为哪怕他是门外汉,他也知道193nm的干式机,对国内目前的水平来讲,属于妥妥的可望不可即的高度。

所以他脱口而出:“不能在248nm的基础上直接做吗?”

郑老先生微微笑,未置可否,只问王潇:“那你们想好了用什么液体来做这个介质吗?”

“去离子水。”王潇已经想要捂脸了。

果不其然,郑老先生再度开启了慢条斯理模式:“理论角度上来讲,用去离子水做这个介质,折射后的波长应该会比193nm短。”

不等黄副市长精神振奋,他又剥开了一颗蚕豆,继续往桌上摆蚕豆壳,“这样,我们首先要解决第一个问题。”

“248nm光源需使用氟化钙(CaF)透镜,CaF与水接触时可能发生水解反应,导致透镜表面损伤,这样,我们需要额外设计防腐蚀涂层。”

众人先傻眼了,面面相觑。这好像简单问题复杂化了啊。

然而郑老先生还没结束他的连环击,再度放下一片蚕豆壳,“248nm光刻胶,聚对羟基苯乙烯,PHS,在浸润环境中,可能因水的渗透导致图案变形。这个问题,也要想办法解决。”

众人感觉眼前一黑接一黑,本来他们觉得复杂问题可以简单化的。

结果叫郑老这么一分析,反而简单问题复杂化了。

郑老先生慢慢嚼着蚕豆,然后咽下肚子,才意味深长道:“技术更新就是这样。技术也要找自己的时机,就好像到了温度花才会开,它还需要执行力。这二者缺一不可。否则,再伟大的技术,它也落不了地。”

餐桌上陷入了沉默,只江水拍击着船发出的声响,透过窗户,传进包厢。

一并而来的,只有江水的潮湿之气和浓郁的咸腥味。它们如同黄浦江伸出的舌头,像母兽一样,舔舐着每个人的焦灼。

岸上灯光点点,小孩子奔跑时大喊大叫的欢笑声,让包厢里的沉寂愈发郁郁。

最后还是郑老先生打破的沉默,他发出了一声叹息:“而且248nm的光刻机,我们也造不出来啊。”

“KrF准分子激光器,需高纯度氟化氪气体和精密放电技术,我们国内的工业体系根本就没有这个基础。”

“纳米级对准精度和稳定性,都需要超精密制造能力,我们同样也没有这个技术。”

他拿手绢擦自己的手,再一次叹息,“高数值孔径(NA)的投影物镜,德国蔡司要是能出口给我们的话,倒是不用我们再从头做起了。”

五月底的江风,像是把黄浦江深处的凉意都给卷出来了,热情过度地往人身上扑,扑的人心里拔凉拔凉。

郑老先生将手绢放回自己的口袋,声音在江风中微微发颤:“工业的累积就是这个样子,想走捷径,跳过任何一个环节,几乎都不可能。”

这一顿江上的晚饭,吃的痛快还是不痛快,实在太难评。

你要说不痛快吧,桌上的面和菜都光盘了,可见大家吃的都挺麻溜。

但你要说痛快吧,上船的时候大家还言笑晏晏,个个信心十足。

结果等到了下船,所有人都沉默寡言,空气里只有江水的拍击声,和船上的录音机发出的歌声:“浪奔,浪流,万里涛涛江水永不休……”

人的烦恼啊,就跟江水一样,好像永远不会有停下来的时候。

小孩子在江滩上放会发光的风筝——现在的玩具真是一天一新鲜,风筝缠上了树枝,他急得哭。

家里的大人一边骂,一边上树去给他捡风筝。

唉,他们也想被骂两句,只要能解决他们的问题就好。

沉默的人下了沉默的船,走上沉默的江滩,然后又进了沉默的轿车。

轿车发出的声响,也好象沉重不堪的叹息。

因为它的核心技术,国产仍然实现不了。

所以当大家回到酒店的时候,所有人都表情严肃。

不知道的人看了,估计会以为他们这一顿晚饭是去吃席了。

开发公司的胡总看到他们时,还下意识地问了句:“怎么了,这是?”

王潇从善如流:“没什么,我们去外面吃饭了。晚上风有点大,吹得人脸发木。”

胡总“哦哦”了两声,算是接受了这个说法,还应和了一句:“说不定要下雨了,马上要六月份了,六月天,孩儿面,说变就变。”

这种人上了楼,进了套间,外面的房间就是个会客室,刚好适合谈话。

王潇笑道:“胡总,你这是有什么十万火急的事儿吗?还麻烦您大晚上的跑一趟。早说啊,咱们晚上一块吃黄鱼面,确实鲜美。”

胡总摆摆手:“我也不瞒你,我这是刚应酬完了过来的。”

这话王潇相信,因为他一开口就是酒味,可见饭桌上喝了不少。

胡总的身体靠在沙发椅上,发出一声叹息,十分苦恼的模样,“王总啊,不是我说你哦,你这是不是有点独啊。你一个人想把事情都做完了,那你把国家摆在什么位置?国家就派不上用场了?”

哎呦,这可是立场问题。

王潇立刻矢口否认:“这怎么可能?没有国家的鼎力支持,任何人都搞不了半导体。美国是这样,日本是这样,韩国也是这样。”

胡总似笑非笑:“那你为什么非得把三厂一所推出去?有问题,大家磨合就好嘛。”

王潇摇头:“我是说,国家参与半导体行业,应该是给政策也支持给态度,而不是自己亲自下场做。现在都说政府和企业功能分离,那就应该体现在半导体行业上。”

胡总也跟着摇头:“这个还不够。我们现在半导体行业发展需求非常迫切,单纯的政策支持,恐怕难以短时间内解决问题。”

套间里的空调开了,但时间太短,还没来得及发挥作用。