第512章 伟大的人无惧平台：你必须得帮我们（第4/4页）

于是一群人又去看0.35微米制程的光刻机，顺带参观车间。

突然间，林博士好奇道：“那是什么？”

郑教授解释：“这是我们在做的双工作台。当时我们想的是，如果做浸润式光刻机，水膜虽能提升曝光分辨率，却会干扰芯片测量的准确性，所以是不是应该搞两个台子更合适？刚好我们去船厂看到了双工作台，就想着我们也搞个双工作台。”

他笑了起来，“后来发现，这个好像哪怕搞不出浸润式光刻机，双工作台也能用。它用在干式光刻机上，也可以大大提高效率。我们搞光刻机技术，肯定追不上尼康佳能ASML这样的大企业，首先专利就少。那我们现在能下功夫的，而且下了功夫就能看到效果的，也就是工艺了。”

“这样同样的技术水平，都不是最高端的技术水平，我们的效率高，人家用我们的机子生产芯片，平均成本就低，我们自然也就有竞争优势，能够跟其他厂家争一争了。”

这话说的多卑微啊。

一个已经搞出了世界上第1台浸润式光刻机实验机的厂家，想的还是在低端领域竞争。

听到林博士都说不清楚自己内心究竟是个什么感受。

他出了厂房大门，才轻声细语道：“可是我脱不开身啊，我在美国也有自己的工作要做。”

王潇毫不犹豫：“要不这样吧，林博，您能不能给我们当顾问？我们聘请您当首席顾问。我们需要你，请你一定要帮我们。”

算了，不能直接雇佣人家，也不能买人家的公司，更不能指望对方公司过来投资，大家合资一起搞——美国对这方面的限制很严重。

那就只能退而求其次，再请一位首席顾问了。

不管三七二十一，反正现在立刻动起来是真的。

否则等到佳能和尼康这样的大厂反应过来，开始投入做浸润式光刻机。以人家的技术底蕴，分分钟就能反超。

作者有话说：

注：真实的情况下，张汝京和林本坚的交谈应该会把光刻称之为微影，就好像我们一般会说芯片代工，但是在台湾会称之为晶圆代工，小说里面我没有这么说，是为了方便大家理解，否则代表同一事物的名词太多的话，可能容易让人理解混乱。

此外，关于林本坚博士对浸润式光刻机的贡献，ASML的Jan Mulkens在2001年12月的157纳米光刻技术大会上，和行业人士共同讨论过镜头下加纯净水提升分辨率的思路，这一思路源于显微镜领域的旧有光学现象，且IBM在80年代就描述过该现象在光刻中的应用。Jan会后就组建团队做基础测试，但此时只是停留在早期概念验证。而林本坚是在2002年国际光电学会研讨会上，首次系统且针对性地提出将193纳米机台搭配高纯度水作为介质的实用化方案，还算出等效波长可达134纳米，这个方案直接直指当时157纳米干式光刻的成本与技术瓶颈，具备明确的商业化落地价值，和Jan此前接触的宽泛概念有着本质区别。

林本坚提出方案后，因当时尼康、佳能等大厂已在157纳米技术上投入数十亿美元而遭冷遇。他花了一年时间游说设备厂，期间台积电的张忠谋、蒋尚义给予其全力支持。

按照林本坚本人的自述：轰动归轰动，要说服光刻机台的厂商研发并量产浸润式机台却困难重重。问题出在全世界的研发方向都朝向157纳米，不但有很多厂商和研发单位投注到这波长，而且全球对157纳米的投资远超过10亿美元；单单一家光刻机台的厂商号称已投资超过7亿多美元。他们觉得我在搅局，并想说服我的老板阻止我。幸亏蒋尚义老板很有见识，也相信我的能力，并没有采取行动。

我和组内的同仁必须写好几篇论文，从理论的观点证明浸润式微影的可行性及优势，并驳斥一些错误的负面看法。我们也及早申请了应该申请的专利，并继续在国际技术讨论会发表论文。最重要的是必须说服厂商提供机台。

因此我常奔跑荷、德、美、日各地作技术和商业的交谈。这样辛苦耕耘了一年多，在2003年的10月，我们到荷兰作技术讨论时，爱斯摩尔公司给我们看刚刚赶出来的第一片用浸润式光刻机在光阻上的成像。当然皆大欢喜。接着台积电和爱斯摩尔两个公司用很多年的苦功，把机台和制程研发到可以把浸润式微影驾轻就熟地用在量产上。

此外，2015年6月9日，林本坚曾莅临北京大学，做客信息技术与信息化名家讲坛并做学术报告，主题为《纳米光刻技术的精髓》。这一公开的学术交流活动，是他踏上大陆的直接佐证，并非外界传言的从未与大陆有过往来。

另外，李文和案是千禧年前后一件非常轰动的事件。

按照网络的说法，李文和案是1990年代末美国以“核机密泄漏”为由针对华裔科学家李文和发起的一起充满种族偏见的冤假错案，最终李文和洗清间谍嫌疑并获赔偿，具体过程如下：

1.锁定目标与初步调查：1996年，美国联邦调查局调查所谓“中国窃取W -88微型核弹头资料”一事，将任职于洛斯阿拉莫斯国家实验室的华裔科学家李文和列为怀疑目标。1998年他接受了FBI的测谎检查并通过，但仍被迫离开核心研究部门。

2.事件升级与恶意指控：1999年3月，李文和被美国能源部以违反安全条例解雇，《纽约时报》随即报道该事件，相关言论引发舆论哗然；同年5月的《考克斯报告》还将此案当作中国窃取美国核机密的“证据”大肆炒作。不过当年8月，就有实验室前反谍报主管承认，调查中并无李文和泄密的实质证据。

3.起诉与监禁：1999年12月，美国司法部因无证据无法以间谍罪起诉，转而以“非法获取重要机密”等59项罪名逮捕李文和。他被单独监禁期间遭受了严苛对待，直到2000年8月才获准交保获释。后续司法部也承认，李文和下载材料实为找工作所用，与间谍活动无关。

4.和解与赔偿：2001年9月李文和彻底恢复自由。2006年6月，美国能源部、司法部及五家主流媒体与他达成和解，赔偿其160万美元，其中政府支付的款项用于抵扣律师费，媒体赔偿款归其个人所有，这场闹剧以李文和维权成功告终。

1999年，真实的历史上真的发生了好多事